菲希爾X射線測厚儀應(yīng)用實例
PCB領(lǐng)域的一個典型鍍層結(jié)構(gòu)是Au/Pd/Ni/Cu/
PCB和而且測量點的寬度通常都小于100 μm,Au層和Pd層的厚度都在10到100 nm之間。使用半寬高為20μm的XDV-μ進行測量,Au層和Pd層的重復(fù)精度分別可達(dá)到~0.1 nm和~0.5 nm。
菲希爾鍍層測厚儀特征
帶有鈹窗口和鎢鈀的微聚焦X射線管,可選鉬管。最高工作條件:50kV,50W
X射線探測器采用珀爾帖致冷的硅漂移探測器
多毛細(xì)孔X射線聚焦裝置,測量點約20-40 μm FWHM(半高寬)
4個可切換基本濾片
帶彈出功能的可編程XY平臺
視頻攝像頭可用來實時查看測量位置,十字線上有經(jīng)過校準(zhǔn)的刻度標(biāo)尺,而測量點
實際大小也在圖像中顯示。
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